Wafer-Scale Demonstration of BEOL-Compatible Ambipolar MoS2 Devices Enabled by Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition

FI: 8,2
Tipo: Article

Inicio · TEC04-Nanoelectrónica

Artículo original

Año: 2025

Autores

Martínez, A; Márquez, C; Lorenzo, F; Gutiérrez, F; Caño-García, M; Avila, J; Gil, JCG; Lopez, RO; Navarro, C; Donetti, L; Gámiz, F

Revista

Título: ACS APPLIED MATERIALS & INTERFACES

Cuartil

Q1